chiller高精度冷热循环器

简要描述：Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品，可实现对设备出口温度的精准控制，控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域，激光、医疗和精密实验室温控方案。全系列采用全直流变频压缩机，磁力耦合泵，电子膨胀阀节流装置，西门子控制器，压缩机，产品稳定性高。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。